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Parylene在微电子／微马达上的应用

2021-06-18 13:08:28

Parylene涂层不仅有优异的介电性能、较低的介质损耗和较高的介电强度，同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。Parylene如此高的介电强度主要归功于Parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。Parylene具有优异的尺寸稳定性和低温性能，在几乎不改变器件尺寸的情况下提供1.5KV,2.0KV 甚至更高的耐电压击穿性能。因此，Parylene可用作微电子，微马达的表面处理和绝缘体。使用高纯度的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。

微电子、半导体：使用高纯的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。

传感器和换能器：自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器， Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性，涂层无针孔，且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种恶劣环境。

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